產(chǎn)品介紹
ECA系列是用于靜電吸盤（E-Chuck，ESC）的高壓放大器。除了極性切換和強制接地外，該系列還提供晶圓監(jiān)控系統(tǒng)以滿足晶圓檢測需求。此外，憑借廣泛的電壓范圍，該系列可支持庫侖和 Johnsen-Rahbek 靜電吸盤。
典型應用：
靜電驅動的材料處理
半導體晶圓加工
平板或其他對機械處理敏感的加工材料的非機械轉移
特點和優(yōu)勢：
通過晶圓傳感器進行可靠性夾持/釋放狀態(tài)檢測
放大器架構設計的快速響應（“無繼電器極性反轉”設計的高可靠性和長壽命。）
各種卡盤/釋放操作的“雙通道獨立控制（選項）”和“中心抽頭電壓設置（選項）”
配備LAN、USB、RS-232C數(shù)字接口
內(nèi)置低通射頻濾波器 (13.56 MHz)
輸出電壓設定特性：
波形示例：
可選CT
中心抽頭偏置
0至±[最大速率電壓-電壓設定值]
可選ET
以太網(wǎng)CAT接口
[即將推出]
可選DS
雙通道獨立控制
可選AC
AC 100V 至 240V 1 φ輸入
可選L7
輸出高壓電纜 7 米 x 3
（選擇 CT 或 DS 時為 2 個）
