離子束
離子束是通過高速加速離子產(chǎn)生的束。離子是帶正電或負(fù)電的原子或原子團(tuán)。離子加速是通過施加任意電壓將離子移動到目的地。加速器的動量與施加電壓的大小成正比。根據(jù)離子轉(zhuǎn)移的應(yīng)用，施加電壓的電極有加速電極、引出電極、抑制電極、偏轉(zhuǎn)電極、偏轉(zhuǎn)電極等。它們用于離子引擎、離子束濺射、離子注入、聚焦離子束（FIB）和加速器。為了防止器件內(nèi)部的電位偏向于加速離子電位，在某些情況下，他有可能會通過加速離子產(chǎn)生離子而被電中和。
為了為FIB生成離子束，使用了由連接有鎵的針狀鎢絲組成的液態(tài)金屬離子源（LMIS）。當(dāng)燈絲被加熱并向提取電極施加電壓時，會從尖端產(chǎn)生離子束。生成的離子然后由加速器的電場和磁場控制，形成狹窄的定向流。離子束控制用于離子束掃描。從離子源提取的離子由聚光透鏡（CL）聚焦，離子束由靜電偏轉(zhuǎn)器掃描。離子束用于廣泛的應(yīng)用，例如離子束注入、離子束處理和掃描離子顯微鏡（SIM）。
離子束發(fā)生器由離子源（離子槍）、加速器中的電磁透鏡和偏轉(zhuǎn)器組成。離子束通過加速器，用于將雜質(zhì)離子注入半導(dǎo)體、通過離子銑削進(jìn)行表面清潔、表面處理、表面改性以及表面和內(nèi)部分析。離子束在真空中被電場加速和減速，并被磁場偏轉(zhuǎn)。離子質(zhì)量分選通過使離子在磁場中彎曲進(jìn)行，能量分析通過減速電場法和靜電場偏轉(zhuǎn)分析法進(jìn)行。
離子源概念圖
威思曼提供多種用于離子加速、提取、抑制、偏轉(zhuǎn)、聚焦、網(wǎng)格化和中和的電源設(shè)備。為靜電偏轉(zhuǎn)器設(shè)計的威思曼電源具有多種規(guī)格，特別是我們提供具有世界最高水平響應(yīng)速度的高壓放大器。具有直流偏置功能，可以方便地調(diào)整掃描的掃描參考點(diǎn)。
離子束電源：
