電子顯微鏡
電子顯微鏡是通過向物體施加電子(電子束)來觀察物體的顯微鏡。在普通顯微鏡(光學顯微鏡)中,光(可見光)照射在被觀察物體上,反射光被放大后觀察物體。然而,電子顯微鏡在物體上是要電子而不是光。
與可見光相比,電子束具有更短的波形,因此具有更高的分辨率。這是因為它可以檢測到無法通過可見光捕獲為"差異"的步驟和其他差異。這使得觀察工程顯微鏡無法觀察到的非常小的物體成為可能。
根據用途和目的,電子顯微鏡的種類很多,但大致分為透射電子顯微鏡(TEM)和掃描電子顯微鏡(SEM)兩大類。
透射電子顯微鏡將電子束應用于樣品并在放大光下觀察透射電子。在投射電子顯微鏡中,對電子束施加電壓并加速穿透物體。因此,只有可以被電子束穿透的薄材料才能用于觀察。
掃描電子顯微鏡在真空中向樣品表面施加窄聚焦的電子束,并接收物體發(fā)射的電子作為信號。不僅可以獲得樣品表面不平整的圖像,還可以同時獲得樣品的成分數據。電子顯微鏡需要高性能電源來產生電子束。
掃描電子顯微鏡(SEM)是電子顯微鏡的一種。通過使用波長比光更短的電子,您可以看到比使用可見光的光學顯微鏡更精細的圖像。
掃描電子顯微鏡用電子束在真空中變窄的電子束掃描樣品,并根據施加電子束的坐標信息構建和顯示圖像。通常,在入射電子的影響下使用從物體發(fā)射的二次電子來獲取圖像。除了二次電子圖像,掃描電子顯微鏡還可以檢測背散射電子、透射電子、X射線、陰極發(fā)光、內電動勢等,并分析樣品成分數據等各種信息。
在掃描電子顯微鏡中,使用透射電子的稱為 STEM(掃描電子顯微鏡)。在某些情況下,掃描電子顯微鏡會對樣品臺施加負偏壓以獲得清晰的圖像。
威思曼擁有一系列可用于電子顯微鏡的電源。示例:EM ; SEM ; HEM ; EIB ; HSEM.