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0.05KV

0.1KV

0.15KV

0.2KV

0.25KV

0.5KV

1KV

2KV

3KV

4KV

5KV

6KV

6W

10W

20W

30W

1. 輸出電壓高達6KV，輸出功率高達30W

2. 低輸出紋波和噪聲小于0.001% P-P

3. 高穩(wěn)定性每小時0.001%

4. 低溫度系數(shù)0.001%每攝氏度

5. 打火保護和短路保護

6. 外部電位器或外部控制電壓給定

7. 小尺寸，印刷電路板安裝

8. 正極性或負極性輸出

9. 六面屏蔽抗干擾性強

10. 提供OEM定制

0.3KV

0.6KV

1KV

1.5KV

3KV

6KV

10KV

15KV

20KV

25KV

30KV

5W

10W

20W

30W

60W

1. 輸入DC24V

2. 輸出電壓最高30KV，輸出功率60W

3. 低輸出紋波和噪聲小于0.001% P-P

4. 高穩(wěn)定性每8小時0.01%

5. 低溫度系數(shù)25ppm每攝氏度

6. 打火保護和短路保護

7. 外部電位器或外部控制電壓給定

8. 正極性或負極性輸出

9. 體積小，外殼六面屏蔽抗干擾性強

10. 提供OEM定制

11.通過歐盟CE認證

7.5KV

15W

特點和優(yōu)勢

通過晶圓傳感器進行可靠性夾持/釋放狀態(tài)檢測

放大器架構(gòu)設(shè)計的快速響應(yīng)（“無繼電器極性反轉(zhuǎn)”設(shè)計的高可靠性和長壽命。）

各種卡盤/釋放操作的“雙通道獨立控制（選項）”和“中心抽頭電壓設(shè)置（選項）”

配備LAN、USB、RS-232C數(shù)字接口

內(nèi)置低通射頻濾波器 (13.56 MHz)

2KV

13W

提高效率和晶圓吞吐量是普通電源的三倍。 

減少背面氣體錯誤、提高吞吐量并消除晶圓粘滯/爆裂問題；

控制參數(shù)，例如過電流、存在晶圓和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓和內(nèi)部或外部振幅/偏移控制；

調(diào)整過程中的幅度/偏移和輸出控制的多功能性；

使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控制來控制輸出；

配置自定義鉗位和去鉗位序列和波形。

可鎖定的前面板控制界面

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術(shù)

將靜電卡盤配置文件上傳并存儲到設(shè)備，并通過用戶友好的軟件界面存儲在內(nèi)部

晶圓檢測包括無晶圓、存在晶圓或晶圓夾緊狀態(tài)

3KV

19.5W

提高效率和吞吐量：普通電源的三倍。 

減少背面氣體錯誤、提高吞吐量并消除晶圓粘滯/爆裂問題；

控制參數(shù)，例如過電流、存在晶圓和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓和內(nèi)部或外部振幅/偏移控制；

調(diào)整過程中的幅度/偏移和輸出控制的多功能性；

使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控制來控制輸出；

配置自定義鉗位和去鉗位序列和波形。

可鎖定的前面板控制界面

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術(shù)

將靜電卡盤配置文件上傳并存儲到設(shè)備，并通過用戶友好的軟件界面存儲在內(nèi)部

晶圓檢測包括無晶圓、存在晶圓或晶圓夾緊狀態(tài)

0.25KV

0.5KV

1KV

2KV

4KV

6KV

30W

40W

50W

60W

1. 2路輸出，每輸出電壓高達6KV，2路總輸出功率高達60W

2. 低輸出紋波和噪聲小于0.001% P-P

3. 高穩(wěn)定性每八小時0.001%

4. 低溫度系數(shù)15PPM每攝氏度

5. 打火保護和短路保護

6. 外部電位器或外部控制電壓給定

7. 小尺寸，印刷電路板安裝

8. 正極性或負極性輸出

9. 六面屏蔽抗干擾性強

10. 提供OEM定制